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DH-PECVD 等離子增強(qiáng)管式爐

為了使化學(xué)反應(yīng)能在較低的溫度下進(jìn)行,利用了等離子體的活性來促進(jìn)反應(yīng),因而這種 CVD 稱為等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積法(PECVD)。

輝光放電等離子體中:電子密度高 10 9 -10 12 /cm, 電子氣體溫度比普通氣體分子溫度高出 10-100倍。

主要技術(shù)指標(biāo)

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